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200纳米分辨率X光探测器问世【亚博】


本文摘要:据科学技术日报报道,由日本高亮度光科学研究中心(JASRI )、理化研究所、神岛化学工业公司组成的研究小组顺利开发出了能识别200纳米结构的高分辨率x射线光学检测器。

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据科学技术日报报道,由日本高亮度光科学研究中心(JASRI )、理化研究所、神岛化学工业公司组成的研究小组顺利开发出了能识别200纳米结构的高分辨率x射线光学检测器。该x射线检测器具有世界上最低的分辨率,能够取得前所未有的高精细的x射线图像。研究小组利用x射线切换为红外线,开发了没有粘结层的5微米薄的半透明薄膜闪光灯,大幅度提高了光学特性,构建了与x射线光学理论相似的无限大的200纳米分辨率。研究小组利用这个探针顺利地拍摄了超大规模集成电路(VLSI )器件内部300纳米长的布线。

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世界上首次以简单的画质拍摄VLSI内部的配线。

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